Description: Производство цифровых приборов на основе МЭМС датчиков: цифровой регулятор расхода газа, вакуумметр, датчик расхода газа, течеискатель
датчик (63) течеискатель (11) вакуумметр (4) мэмс (1) цифровой регулятор расхода газа (1) датчик расхода газа (1)
ООО Тепловые микросистемы.
Коллектив фирмы проводил систематические исследования в области тепловых МЭМС начиная с 1992 года. Эти работы привели к созданию различных датчиков, обладающих длительной стабильностью и чувствительностью к изменению температуры на уровне 0,01 -0,0001 К. Испытания тепловых МЭМС в составе различных приборов измерения параметров газовых сред выявили настолько существенные преимущества по метрологическим параметрам, что имеются основания говорить о новом их поколении. Приборы включают в себя помимо чувствитель
цифровой регулятор расхода газа вакуумметр датчик расхода газа до 3л/мин датчик расхода газа до 700л/мин течеискатель