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Ｘ線分析機器の リガク

リガクの磁性流体シールユニットの由来は、1952年にリガクが 回転対陰極型Ｘ線発生装置を世界で初めて商品化したことに遡ります。 元々は、自社製品に搭載されていたユニットでしたが、1989年、 それまで培った技術を元に、磁性流体シールユニットメーカーとして発足。 信頼性を第一に求められるニーズの様々な課題を解決する クリーンな軸受けとして選ばれてきました。

磁性流体シールは「長寿命」「コンタミレス」「高真空・高耐圧」「高速回転」を特徴としており、オイルシールなどの汎用シールと比較して高性能の効果を発揮し、主に半導体、FPD業界の真空装置内の回転機構シールユニットとしてご使用頂いております。

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