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Description: マスフローコントローラ｜気化器｜流量制御のパイオニア

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半導体製造装置（CVD、ALD、露光、アッシング、洗浄、ボンディング）気体、液体、気化など精密な流量制御が要求される工程。理化学機器（分析装置、耐久試験装置、燃料電池評価装置）など高い信頼性と再現性が求められる流量制御。一般工業では、PVD、表面コーティング、プラズマ発生装置のプラズマ源の流量制御から、溶接やバーナーのガス流量の自動制御。医薬、食品生産ラインの高温蒸気滅菌を必要とする製造ライン。

一般的なデジタルマスフローコントローラには±15V電源が使用されます。また、設定流量信号と現在流量出力信号は0～5Vの電圧信号が使われます。 詳しくはこちらへ

マスフローコントローラの配管接続はVCRかスウェジロックの相当品が使われます。また、安定制御には適切な差圧条件が必要です。 詳しくはこちらへ

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