Description: Источники питания для магнетронных распылительных систем, ионных источников, высоковольтные. Магнетронные распылительные системы, ионные источники, вакуумные установки.
тонкие пленки (7) распыление (5) вакуумные установки (4) ионный источник (1) ионный пучок (1) магнетрон (1) магнетронная распылительная система (1) нанесение тонких пленок (1) сильноточное магнетронное (1) сильноточный магнетрон (1)
Предназначены для работы с магнетронными распылительными системами в постоянном или импульсном режимах. Серия включает источники питания мощностью от 1.5 до 100 кВт
Предназначены для подачи постоянного и импульсного электрического смещения на подложки в процессе нанесения покрытий. Включает источники питания с выходным напряжением от 330 до 1200 В
Предназначены для работы с ионными источниками с замкнутым дрейфом электронов. Серия APEL-IS включает в себя источники питания c выходным напряжением 2000 В, 3500 В и 5000 В